ISBN 978-5-7677-1799-6
Рассматривается принципиально новое направление в электронике – развитие наноэлектроники и получение наноматериалов (углеродных нанотрубок, фуллеренов, графенов, кремния на изоляторе, фотонных кристаллов и др). Изложены основные свойства и применение материалов наноэлектроники. Приводятся методы создания и применяемые в полупроводниковых приборах и системах материалы.
Для студентов II курса факультета радиотехники и электроники.